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罗茨泵的抽速与极限压力


罗茨泵是一种容积泵,它的抽速和极限压力,对各种气体是不变的。对抽除分子量比氮气低得气体(He和H2)时,间隙泄漏量稍

有增加就会引起抽速稍有下降。

在入口压力为1-0.1hPa范围内有最大抽速,在较高眼里和降低压力时,由于返流作用较大些,故抽速在此两者情况下稍微有些下

降。罗茨泵抽气腔内史干燥无油的,故抽气曲线对应的压力时全压力。

罗茨泵机组的极限全压力与选择的前级泵种类有关。一般为0.001hPa,它受前级泵泵油的蒸汽压力,以及齿轮箱、轴承处润滑油

的蒸汽压力的影响。

罗茨泵上有油的空间要同前级真空侧相连通,由齿轮和轴承负荷引起的油劣化物被前级泵抽除而对罗茨泵入口处无影响。在较高

压力下工作时,较高的压力差会将油通过轴封处而进入被抽空间去。为了避免这种现象发生,可将含油的空间另设小真空泵抽空

,以保证泵腔内的清洁。

罗茨泵的润滑油通常使用机械泵油或低蒸汽压力的扩散泵油。使用扩散泵油在低负荷下市适当的。

在液环泵作为罗茨泵的前级泵时,罗茨泵的抽速和极限压力,取决于液环泵使用的液体。水式通用的工作液体,水环泵的极限压

力为20-30hPa,它取决于供水的温度。罗茨泵机组的极限压力可达到1hPa,它是水环泵来的水蒸气所决定的。若使用带气体喷射

器的前级泵时罗茨泵机组的极限压力为0.1hPa。因为气体喷射器的运行,对水蒸气的返流有个阻挡作用。

一般来说,用一台罗茨泵与单级前级泵组成为机组的情况较多,但要求有更低的艰险压力和更高的抽速时,常用多台罗茨泵串联

后再加前级泵组成机组。


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