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钛升华泵

一些过度族的金属和难熔金属(钛、钽、铌、钼、钨),在一定的温度范围内,对活性气体有很好的吸附和吸收性能。在真空条

件下,用电阻加热或电子轰击加热的方法,可以将这些金属蒸发沉积在器壁上,形成一层薄膜,用来对活性气体进行吸附。上述

各种材料中,钽的吸气性能最好,但它的蒸发温度过高,加热元件容易损坏。锆难以蒸发,抽氢性能不如钛、钽、钼优良。在室

温下,铌膜抽气性能不如钛,但低温性能好。由于钛的价格便宜,易于蒸发,而且抽气性能和工艺性能较好,因此,目前经常采

用钛作为升华泵的吸气材料。

利用加热的方法升华钛并使其沉积在一个冷却的表面上,对气体进行薄膜吸附的抽气装置,称为钛升华泵。钛升华泵和其他真空

泵相比,有如下优点:

1)抽速大。新鲜钛膜在液氮温度下,对氮的抽速可达10.1L/(cm2·S),对氮的抽速可达19.9L/(cm2·s)。

2)极限真空度。可达10-10Pa。

3)在超高真空状态下,泵的抽速随着压力的降低而增大,这时泵的抽速主要受泵口流导的限制。

4)可获得清洁的真空。

5)结构简单,运转费用低。其主要缺点是对惰性气体的抽速小,因此常与其他类型泵搭配使用。




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