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什么是爪式真空泵


近年来真空技术的应用领域日趋广泛,已扩展到整个工业。而在以半导体、电子工业为代表的制造工艺中,迫切要求无油污染的

清洁真空。因被抽气体往往含有腐蚀性蒸汽及磨损粒子,油封泵对此是无能为力的。因而近年来某些国家相继研制出工作在大气

压到0.1pa区域内的干式真空泵,以满足干式工艺的要求。

干式真空泵有非接触型的罗茨式、爪式、螺杆式、接触型的叶片式、凸轮式、活塞式等。非接触型可以高速旋转,但最大压缩比

小。接触型的转速不能太高,但最大压缩比大。尤其在大气压附近,因逆流量变大使后者的压缩比为前者5-8倍。另外,干式真空

泵的转速越高,其压缩比越大,所以干式真空泵的转速多为3000r/min .

从使用寿命、所能达到的压缩比、转速及动平衡性等方面考虑,采用多级爪式转子串联或罗茨转子与多级爪型转子串联组合成干

PK10 式真空泵。

这种泵采用了形状复杂的爪型转子,它也类似罗茨泵型式,两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积,吸气口和排气口分别固定

在两侧端盖的侧面上,有转子在旋转过程中自动开闭。目前有两种结构型式,一种是三级爪型转子加一级罗茨型转子构成的多级

PK10 泵,另一种是四级爪型转子串联构成的多级泵。

由于爪式泵沿轴向逆流少,故压缩比在高压区较高。

这种泵的吸、排气口设置在泵腔的端壁上,多级连接很方便,气道流畅,泵内腔压力变换平缓,有利于防止可凝性气体的凝结。

为了防止可凝性气体在泵内凝结,也要向泵腔内通净化气体。现在的爪式泵极限压力为1-10pa,抽速为100-180m3/h,有系列产

品出售。爪式泵也有单级、多级泵出售。



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